فرآیند آبکاری پشتی به فرآیند رسوب یک یا چند لایه انتقال فلز/آلیاژ بر روی{0}}سمت پشتی هدف کندوپاش نشده از طریق پوشش خلاء و سایر فناوریها برای افزایش استحکام پیوند بین هدف و صفحه پشتی اشاره دارد. این نه تنها کیفیت پوشش هدف را بهبود می بخشد بلکه عمر مفید آن را نیز افزایش می دهد.
"آبکاری پشت" چیست؟
اهداف کندوپاش معمولاً به عنوان یک "جسم هدف" (جزء اصلی که برای رسوب کندوپاش استفاده می شود، مانند اهداف سرامیکی، مس یا مولیبدن آلومینا) و یک "صفحه پشتی" (زیر لایه ای که برای حمایت از هدف و توزیع گرما استفاده می شود، معمولاً از مس یا آلیاژهای آلومینیوم ساخته شده است) ساخته می شوند. این دو از طریق جوش یا اتصال به یکدیگر متصل می شوند.
"آبکاری پشت" شامل قرار دادن لایه ای از یک ماده خاص (معمولاً فلزی با رسانایی الکتریکی یا حرارتی خوب، مانند مس، آلومینیوم، یا نقره) در قسمت پشتی هدف کندوپاش (سطح غیر{0}}روی سطح کندوپاش) از طریق رسوب فیزیکی بخار (PVD) یا روش های دیگر است. این یک ساختار ترکیبی سه لایه ایجاد میکند: "بدنه هدف - لایه پشتی - صفحه پشتی." این پوشش در فرآیند رسوب لایه نازک واقعی شرکت نمی کند، اما تأثیر قابل توجهی بر عملکرد کلی و عمر مفید هدف دارد.
توابع اصلی آبکاری پشت
1. افزایش انتقال حرارت و بهبود اتلاف حرارت
در طول فرآیند کندوپاش، سطح هدف با یونهای{0}پرانرژی بمباران میشود و تقریباً 70 درصد انرژی به گرما تبدیل میشود و باعث میشود دمای هدف به شدت افزایش یابد. با پوشاندن پشت هدف با یک ماده بسیار رسانای حرارتی، تماس حرارتی بین هدف و صفحه پشتی خنک کننده را می توان به طور قابل توجهی بهبود بخشید، انتقال حرارت از هدف به سیستم خنک کننده را تسریع کرده و به طور موثر دمای عملیاتی را کنترل کرد.
2. بهبود تماس الکتریکی و اطمینان از پایداری تخلیه
کندوپاش مگنترون بر تشکیل یک تخلیه پلاسمایی پایدار در سطح هدف متکی است. پوشش پشتی معمولاً از یک ماده بسیار رسانا برای کاهش مقاومت تماس، اطمینان از توزیع یکنواخت جریان و افزایش پایداری تخلیه ساخته شده است. این امر به ویژه در کندوپاشی با توان بالا (مانند HIPIMS) اهمیت دارد.
3. بهبود پیوند مکانیکی و جلوگیری از افت هدف
اهداف معمولاً با لحیم کاری یا فشار مکانیکی روی صفحات پشتی فلزی محکم می شوند. شکاف های میکروسکوپی بین هدف و صفحه پشتی، یا یک پیوند ضعیف، به راحتی می تواند منجر به لایه برداری یا جدا شدن تحت چرخه حرارتی و ارتعاش مکانیکی شود. پوشش پشتی به عنوان یک "لایه انتقالی" عمل می کند و ترشوندگی و پیوند بین هدف و صفحه پشتی را بهبود می بخشد.
4. جلوگیری از آلودگی و اکسیداسیون
برخی از مواد هدف به راحتی با اکسیژن یا بخار آب موجود در هوا در دماهای بالا واکنش می دهند و یک لایه اکسید تشکیل می دهند که بر راندمان کندوپاش و خلوص فیلم تأثیر می گذارد. پوشش پشتی می تواند به عنوان یک مانع فیزیکی برای جداسازی پشت هدف از محیط خارجی و جلوگیری از اکسیداسیون و آلودگی عمل کند. به ویژه در هنگام ذخیره سازی و حمل و نقل هدف بسیار مهم است.
فرآیندهای پوشش پشت{0} معمولی
1. کندوپاش مگنترونی:
هدف مسی یا آلومینیومی برای قرار دادن یک لایه رسانا در پشت هدف استفاده می شود. این روش برای کاربردهای بزرگ-که نیاز به یکنواختی بالا دارند، مناسب است.
2. آبکاری یا آبکاری بدون برق:
مناسب برای بسترهای رسانا و هزینه نسبتاً پایین-، اما نیاز به کنترل دقیق تنش پوشش دارد.
3. اسپری حرارتی:
این روش، مانند اسپری پلاسما، برای اشکال پیچیده یا رسوب لایه ضخیم مناسب است، اما می تواند منجر به زبری سطح بالاتر شود.
اهداف فروش{0} داغ FANMETAL
باورهای غلط رایج
1. آیا پوشش پشت{1} ضخیمتر همیشه بهتر است؟
نه لزوما. پوششهای پشت{1} بیش از حد ضخیم میتوانند تنش عدم تطابق انبساط حرارتی ایجاد کنند و منجر به ترک خوردن شوند. به طور معمول، ضخامت بین چند میکرون تا دهها میکرون کنترل میشود که نیاز به بهینهسازی بر اساس ضریب انبساط حرارتی ماده دارد.
2. آیا همه اهداف نیاز به پوشش پشت- دارند؟
نه لزوما. برای کاربردهای کندوپاش در مقیاس کوچک،-کم-یا با مدت زمان کوتاه-روکش پشت{4} ممکن است لازم نباشد. با این حال، در کاربردهای صنعتی که به قدرت بالا، مساحت های بزرگ و عمر طولانی نیاز دارند، پوشش پشت{6}به استاندارد تبدیل شده است.
3. آیا آبکاری پشت-بر استفاده از هدف تأثیر میگذارد؟
آبکاری پشت{0}خود مواد کندوپاش را مصرف نمی کند. در عوض، با افزایش پایداری و طول عمر، استفاده کلی را بهبود می بخشد.
نتیجه گیری
اگرچه پوشش پشت-هدفهای کندوپاش مستقیماً در رسوب لایه نازک شرکت نمیکند، اما برای اطمینان از فرآیندهای کندوپاش پایدار، کارآمد و طولانی- ضروری است. با بهبود رسانایی حرارتی، بهینهسازی تماس الکتریکی، افزایش استحکام پیوند و جلوگیری از آلودگی، عمر مفید هدف را به طور جامع افزایش میدهد (افزایش آن تا 2-3 برابر)، کیفیت پوشش (کاهش نرخ نقص) و پایداری فرآیند (کاهش خطر خرابی). پیشرفتهای فناوری آینده به کندوپاش مگنترون اجازه میدهد تا فرآیندهای تبخیر سنتی را برای رسوبگذاری پوشش پشتی جایگزین کند و تحمل ضخامت را در محدوده ± 0.5μm و بهینهسازی عملکرد هدف را بیشتر کند. اگر در مورد جزئیات یا زمان تحویل این محصول سؤالی دارید، لطفاً با ما در admin@fanmetalloy.com تماس بگیرید. منتظر پیام شما هستیم
