پوشش تبخیر خلاء عبارت است از استفاده از گرمایش مقاومتی یا پرتو الکترونی و بمباران لیزری برای گرم کردن ماده ای که قرار است تبخیر شود تا دمای معینی در محیطی با درجه خلاء کمتر از 10-2Pa، به طوری که انرژی ارتعاش حرارتی مولکولها یا اتمهای موجود در ماده از سطح فراتر میروند. انرژی اتصال باعث میشود تعداد زیادی از مولکولها یا اتمها تبخیر یا تصعید شوند و مستقیماً روی بستر رسوب کنند و یک لایه نازک تشکیل دهند.
متداول ترین روش مورد استفاده برای پوشش تبخیر خلاء، گرمایش مقاومتی است که دارای مزایای ساختار ساده منبع گرمایش، هزینه کم و عملکرد راحت است. نقطه ضعف آن این است که برای فلزات نسوز و مواد دی الکتریک مقاوم در برابر دمای بالا مناسب نیست.
پوشش پراکنده یونی از حرکت سریع یون های مثبت تولید شده توسط تخلیه گاز برای بمباران هدف به عنوان کاتد تحت اثر میدان الکتریکی استفاده می کند و باعث می شود اتم ها یا مولکول های موجود در هدف فرار کنند و بر روی سطح قطعه کار آبکاری شده رسوب کنند. برای تشکیل فیلم مورد نیاز .
تکنولوژی کندوپاش با تکنولوژی تبخیر خلاء متفاوت است. "Sputtering" به پدیده ای اطلاق می شود که در آن ذرات باردار یک سطح جامد (هدف) را بمباران می کنند و باعث می شوند اتم ها یا مولکول های جامد از سطح خارج شوند. بیشتر ذرات پرتاب شده در حالت اتمی هستند که اغلب اتم های پراکنده نامیده می شوند. ذرات پراکنده مورد استفاده برای بمباران هدف می توانند الکترون، یون یا ذرات خنثی باشند. از آنجایی که یون ها برای بدست آوردن انرژی جنبشی مورد نیاز تحت میدان الکتریکی به راحتی شتاب می گیرند، یون ها بیشتر به عنوان ذرات بمباران استفاده می شوند. یون های پراکنده شده همه از تخلیه گاز منشاء می گیرند.
فن آوری های مختلف کندوپاش از روش های تخلیه متفاوتی استفاده می کنند. کندوپاش دیود DC از تخلیه DC استفاده می کند. کندوپاش سه قطبی از دبی پشتیبانی شده توسط کاتد داغ استفاده می کند. کندوپاش فرکانس رادیویی از تخلیه فرکانس رادیویی استفاده می کند. کندوپاش مگنترون از دبی کنترل شده توسط میدان مغناطیسی حلقه استفاده می کند.
پوشش اسپترینگ مزایای زیادی نسبت به پوشش تبخیر خلاء دارد. به عنوان مثال، هر ماده ای را می توان پراکنده کرد، به ویژه عناصر و ترکیبات با نقطه ذوب بالا و فشار بخار کم. چسبندگی بین فیلم پراکنده شده و بستر خوب است. چگالی فیلم بالا است. ضخامت فیلم را می توان کنترل کرد و تکرارپذیری خوب است و غیره. عیب آن این است که تجهیزات نسبتاً پیچیده هستند و به تجهیزات ولتاژ بالا نیاز دارند.
البته مزایای روش آبکاری یونی که تبخیر و کندوپاش را با هم ترکیب میکند این است که چسبندگی فوقالعاده قوی بین فیلم و بستر دارد، نرخ رسوب بالایی دارد و میتواند فیلمهایی با کارایی بالا برای استفاده در دستگاههای الکترونیکی تولید کند. صنعت پردازش متالورژی و لوازم تزئینی.
