از نقطه نظر ساختاری، هدف عمدتاً از دو بخش تشکیل شده است: "خالی هدف" و "صفحه پشتی". خالی هدف، ماده هدف است که توسط پرتو یونی با سرعت بالا بمباران می شود. این بخش اصلی هدف کندوپاش است و شامل کنترل جهت گیری فلز و دانه با خلوص بالا است. صفحه پشتی عمدتاً نقش ثابت کردن هدف کندوپاش را ایفا می کند و شامل فرآیند جوشکاری می شود. در حال حاضر، مواد معمولی برای صفحه پشتی هدف کندوپاش عمدتاً شامل مس بدون اکسیژن، آلیاژ مس، مولیبدن و مواد صفحه پشتی لوله فولادی ضد زنگ است.
1. دلایل نصب بک پلیت
مجموعه هدف متشکل از یک لایه هدف با عملکرد کندوپاش مرکب و یک صفحه پشتی است که با جوشکاری با قسمت خالی هدف ترکیب شده است. در فرآیند کندوپاش، مجموعه هدف در یک محیط کاری سخت قرار دارد. یک طرف صفحه پشتی به شدت توسط فشار معینی از آب خنک کننده خنک می شود، در حالی که یک طرف فضای خالی هدف در یک محیط خلاء با دمای بالا قرار دارد، بنابراین اختلاف فشار زیادی در طرف های مخالف مجموعه هدف ایجاد می شود. علاوه بر این، یک طرف هدف توسط ذرات مختلف در میدان الکتریکی ولتاژ بالا و میدان مغناطیسی قوی بمباران می شود و گرمای زیادی ایجاد می شود.
در چنین محیط سختی، به منظور اطمینان از ثبات کیفیت فیلم و کیفیت مجموعه هدف، کیفیت شمش و صفحه پشتی هدف و نرخ اتصال جوش بیشتر و بیشتر می شود، در غیر این صورت هدایت آن آسان است. به تغییر شکل و ترک خوردگی مجموعه هدف در شرایط گرم که بر کیفیت فیلم تأثیر می گذارد و حتی باعث آسیب به پایه کندوپاش می شود.
2. مواد برای ساخت هواپیمای پشتی
صفحه پشتی عمدتاً برای تثبیت مواد هدف کندوپاش استفاده می شود و باید رسانایی الکتریکی و حرارتی خوبی داشته باشد. در طول فرآیند پوشش کندوپاش مگنترون، هدف باید هم فشار آب خنک کننده در پشت و هم فشار منفی خلاء در جلو را تحمل کند. صفحات پشتی مس و آلیاژ مس اغلب به عنوان پایه های هدف انتخاب می شوند زیرا دارای مزایای زیر هستند:
(1) رسانایی حرارتی بالا: می تواند به طور موثر گرمای تولید شده بر روی سطح هدف را در طول فرآیند کندوپاش به سیستم خنک کننده هدایت کند. این به پایدار ماندن دمای هدف کمک می کند و از ترک خوردگی هدف یا تخریب عملکرد به دلیل گرمای بیش از حد جلوگیری می کند.
(2) دارای رسانایی الکتریکی بالا: می تواند راندمان هدایت جریان را در طول فرآیند کندوپاش بهبود بخشد. این به کاهش تلفات مقاومت بین هدف و سیستم کندوپاش مگنترون کمک می کند و در نتیجه راندمان کندوپاش را بهبود می بخشد.
(3) استحکام مکانیکی بالا: می تواند پشتیبانی پایدار را ارائه دهد. این کمک می کند تا اطمینان حاصل شود که هدف به دلیل لرزش یا استرس در طول فرآیند کندوپاش ترک نمی خورد.
(4) کندوپاش یکنواخت: صفحه پشتی مسی می تواند توزیع میدان الکترومغناطیسی هدف را بهبود بخشد، در نتیجه کندوپاش یکنواخت تر را به دست می آورد و یکنواختی فیلم را بهبود می بخشد.
(5) طول عمر هدف را افزایش دهید: به دلیل رسانایی حرارتی و رسانایی الکتریکی بالای صفحه پشتی مسی، می توان دمای عملیاتی و از دست دادن مقاومت هدف را کاهش داد، در نتیجه سایش هدف را کاهش داده و آن را افزایش داد. عمر سرویس
3. فرآیند اتصال Backplane
(1) قبل از اتصال، سطح هدف و هدف پشتی را از قبل درمان کنید.
(2) هدف پشتی را روی میز گرمایش ثابت کنید، هدف را روی صفحه پشتی قرار دهید و آن را تا دمای اتصال گرم کنید.
(3) هدف و هدف عقب را فلز کنید و هدف را به صفحه پشتی مسی لحیم کنید.
(4) هدف و هدف عقب را بچسبانید، وزنه تعادلی را روی سطح هدف دور از صفحه پشتی مسی قرار دهید و پس از سرد شدن هدف، وزنه تعادل را بردارید.
(5) خنک سازی پس از پردازش.
