1. خلوص
خلوص هدف تیتانیوم تأثیر زیادی بر خواص فیلم های پراکنده شده دارد. هرچه خلوص هدف بیشتر باشد، ذرات عنصر ناخالصی کمتری در فیلم پراکنده شده و عملکرد فیلم بهتر است (مانند مقاومت در برابر خوردگی، خواص نوری و الکتریکی). در کاربردهای عملی، نیازهای خلوص اهداف تیتانیوم برای اهداف مختلف متفاوت است. . برای مثال، نیازهای خلوص اهداف برای پوششهای تزئینی عمومی زیاد نیست، در حالی که اهداف برای مدارهای مجتمع، بدنههای نمایشگر و سایر زمینهها نیازمندیهای بسیار بالاتری برای خلوص هستند، معمولاً حدود 99.999 درصد یا بالاتر.
2. اندازه دانه متوسط
معمولاً هدف تیتانیوم ساختاری چند کریستالی دارد و اندازه دانه می تواند از میکرون تا میلی متر متغیر باشد. سرعت کندوپاش هدف دانه ریز سریعتر از هدف دانه درشت است. توزیع ضخامت فیلم رسوب شده در اسپری نیز نسبتاً یکنواخت است. اندازه دانه متوسط اهداف تیتانیوم برای مدارهای مجتمع معمولاً باید در 30 میکرومتر باشد و متوسط اندازه دانههای اهداف تیتانیوم بسیار ریز زیر 10 میکرومتر است.
3. جهت گیری کریستالی
تیتانیوم ساختار شش ضلعی بسته بندی شده ای دارد. در طول کندوپاش، اتم های هدف تیتانیوم به راحتی در جهت آرایش شش ضلعی اتم ها پراکنده می شوند. بنابراین برای دستیابی به بالاترین سرعت کندوپاش می توان با تغییر ساختار کریستالی هدف، سرعت کندوپاش را افزایش داد. سرعت کندوپاش جهت تبلور هدف تیتانیوم نیز تأثیر زیادی بر یکنواختی ضخامت لایه فیلم پراکنده شده دارد و اندازه فیلم صفحه نمایش مسطح و پوشش تزئینی نسبتاً ضخیم است، بنابراین الزامات برای جهت گیری دانه هدف تیتانیوم مربوطه است. نسبتا کم.
4. هندسه و اندازه
این به طور عمده در دقت پردازش و کیفیت پردازش، مانند اندازه پردازش، صافی سطح، زبری، و غیره منعکس شده است. سطح آب بندی بسیار ناهموار و شیار آب بندی پس از نصب هدف باعث ایجاد مشکلات خلاء می شود. زبر کردن سطح کندوپاش هدف می تواند سطح هدف را پر از نوک های بیرون زده کند، تحت تأثیر نوک، پتانسیل این نوک های برجسته بسیار افزایش می یابد و در نتیجه تخلیه دی الکتریک را از بین می برد. با این حال، یک برآمدگی بیش از حد بزرگ برای کیفیت و پایداری کندوپاش مضر است.
شرکت ما می تواند آلیاژهای تیتانیوم ماننداهداف پراکنده آلومینیومی تیتانیوموهدف کندوپاش تیتانیوم تیتانیوم، و همچنین اهداف تیتانیومی با خلوص و شکل های مختلف و همچنین خدمات سفارشی را می پذیرند. در صورت لزوم، لطفا از طریق ایمیل با ما تماس بگیرید.
