پوشش کندوپاش مگنترون نوع جدیدی از روش پوشش فیزیکی بخار است که از یک سیستم تفنگ الکترونی برای گسیل و تمرکز الکترون ها بر روی ماده مورد پوشش استفاده می کند، به طوری که اتم های پراکنده شده از اصل تبدیل حرکت پیروی می کنند، به طوری که ماده دارای مکانیکی بالاتری است. خواص ماده ای که قرار است آبکاری شود هدف کندوپاش نامیده می شود که عمدتاً شامل فلزات، آلیاژها و ترکیبات سرامیکی است. FANMETAL می تواند اهداف فلزی با کیفیت بالا مانندهدف کندوپاش کروم خالص، هدف کندوپاش طلا،هدف کندوپاش آلومینیوم تیتانیومو Copper Sputtering Target. لطفاً یک ایمیل برای ما ارسال کنید تا نیازهای خود را به ما بگویید.
1. خلوص
خلوص یکی از شاخص های اصلی عملکرد هدف است، زیرا خلوص هدف تأثیر زیادی بر عملکرد فیلم دارد. با این حال، در کاربردهای عملی، الزامات خلوص هدف نیز متفاوت است. به عنوان مثال، با پیشرفت سریع صنعت میکروالکترونیک، اندازه ویفرهای سیلیکونی از 6، 8 اینچ به 12 اینچ افزایش یافته است و عرض سیمکشی از 0.5m به 0 کاهش یافته است. 0.25um، 0.18um یا حتی 0.13um. خلوص هدف قبلی 99.995 درصد بوده است. خطوط }}.18um به 99.999 درصد یا حتی 99.9999 درصد خلوص هدف نیاز دارند.
2. محتوای ناخالصی
ناخالصی ها در جامد هدف و اکسیژن و رطوبت در منافذ منابع اصلی آلودگی فیلم رسوب شده هستند. مواد هدف برای مقاصد مختلف نیازهای متفاوتی برای محتویات ناخالصی متفاوت دارند. به عنوان مثال، اهداف آلومینیم خالص و آلیاژ آلومینیوم مورد استفاده در صنعت نیمه هادی دارای الزامات خاصی برای محتوای فلز قلیایی و محتوای عناصر رادیواکتیو هستند.
3. تراکم
به منظور کاهش منافذ در جامد هدف و بهبود عملکرد فیلم پراکنده شده، معمولاً هدف مورد نیاز است که چگالی بالاتری داشته باشد. چگالی هدف نه تنها بر سرعت کندوپاش، بلکه بر خواص الکتریکی و نوری فیلم نیز تأثیر می گذارد. هرچه چگالی هدف بیشتر باشد، عملکرد فیلم بهتر است. علاوه بر این، افزایش چگالی و استحکام هدف باعث می شود هدف بهتر بتواند در برابر تنش حرارتی در طول فرآیند کندوپاش مقاومت کند. تراکم نیز یکی از شاخص های کلیدی عملکرد هدف است.
4. اندازه دانه و توزیع اندازه دانه
معمولاً ماده مورد نظر یک ساختار پلی کریستالی است و اندازه دانه می تواند از میکرون تا میلی متر متغیر باشد. برای همان ماده هدف، سرعت کندوپاش هدف با دانههای ریز سریعتر از هدف با دانههای درشت است. و توزیع ضخامت لایه رسوبشده با کندوپاش با اختلاف اندازه دانههای کوچکتر (توزیع یکنواخت) یکنواختتر است.
